纳诺测量
NANO METROLOGY

镭雕段差测量(线扫描)

客要求:
测量塑料手机后盖镭雕位置段差,测量四处,段差理论值为0.012mm,测量CD要求在5秒/PCS,产品图如下。
 Super332+线扫激光
线扫描激光介绍:



线扫描激光3D相机是一种精度可达微米级量的非接触位移量测系统,超高速扫描,宽X轴向视野,超高线激光分辨率,达到3200像素点,可精准测量低反射率的黑色物体和高反射率的金属物体,快速测量其高度段差。


线扫描激光优势:
测量精度高,Z轴(高度)重复精度0.1um,X轴(宽度)轮廓数据间隔5um;单笔扫描轮廓点数可达3200个;稳定量测各类材质,可精准测量低反射率和高反射率的各颜色产品;适用于各种工件形貌(包含斜面/狐面)之特微尺寸量测,例如高度/段差/平面度等。
测量数据:

数据说明:
产品同一位置测量了100次,此数据仅提取了测量结果的10组数据,每次扫描获取点位400个,图表为10次数据的分布图。
案例分析:
客户产品段差的测量对设备Z轴精度极高且CD时间要求较高,若是传统的点激光进行线扫则CD时间无法达到要求。用线激光单笔线扫在保证精度的同时,大大的降低了CD时间,1PCS产品CD时间为2.5秒,完全满足客户CD要求。


文章分类: 解决方案
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