镭雕段差测量(线扫描)客要求:
线扫描激光优势: 测量精度高,Z轴(高度)重复精度0.1um,X轴(宽度)轮廓数据间隔5um;单笔扫描轮廓点数可达3200个;稳定量测各类材质,可精准测量低反射率和高反射率的各颜色产品;适用于各种工件形貌(包含斜面/狐面)之特微尺寸量测,例如高度/段差/平面度等。 数据说明: 产品同一位置测量了100次,此数据仅提取了测量结果的10组数据,每次扫描获取点位400个,图表为10次数据的分布图。 案例分析: 客户产品段差的测量对设备Z轴精度极高且CD时间要求较高,若是传统的点激光进行线扫则CD时间无法达到要求。用线激光单笔线扫在保证精度的同时,大大的降低了CD时间,1PCS产品CD时间为2.5秒,完全满足客户CD要求。 下一篇光源在影像测量中的应用
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